据韩媒《北韩日新报》4月底6日新媒体报道，SK海力士利川M16工厂3名劳工在安全检查装置的操作过程中因毒性物质氟酸外泄受伤。M16工厂是先前落成的DRAM生产商工厂。隔天上午11点34分时，在全罗北道利川市SK海力士 M16工厂5四楼的装置开展安全检查前夕，引发硫化物泄漏严重事故。
氟酸是结晶毒性硼酸结晶在水中的挥发性液体。用作于导体电路绘图Pattern的蚀刻制程中。
在这起严重事故中，一名30岁的劳工的脖子和腿被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸气体转移至靠近医院。据新媒体报道，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次严重事故是在对新的M16工厂装置开展安全检查时引发的，对导体生产商不但会影响。
（图片来源：北韩日新报）
据悉，M16工厂将主要生产商DRAM厂家，总面积5.7万平方米。在2021年1月底，SK海力士在韩国全罗北道利川公司总部举行M16新厂落成典礼，正式日前新厂脚踏。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从月底内下半年起生产商第四代1α纳米级DRAM厂家。更进一步SK海力士将大幅提高EUV装置耗电量，全面增强存储器导体相关的先进材料科学领导力。
来源：导体行业Alliance
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